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燃燒式Scrubber氣體進(jìn)入機(jī)臺(tái)Inlet Buffer之后溫度不足,導(dǎo)致廢氣結(jié)晶管路阻塞;且因Powder阻塞,導(dǎo)致氣動(dòng)閥異常而損壞,無(wú)法正常切換,如何改善?
對(duì)策:在機(jī)臺(tái)Inlet Buffer處加裝Hot N2,使Pump至Scrubber管路保持一定溫度,使氣體順利進(jìn)入Chamber燃燒處理,增長(zhǎng)PM周期。