產(chǎn)品中心
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productsHOT N2
Hot N2 通過直接管路高溫分布，以達到管路內部高溫環(huán)境，適用于PECVD 、Dry Etch 、 LPCVD 等會產(chǎn)生Powder 的制程設備
在現(xiàn)場處理Pipe or Scrubber Inlet 阻塞的問題方向，Hot N2 是最經(jīng)濟且效果最佳的解決方式
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Hot N2 通過直接管路高溫分布，以達到管路內部高溫環(huán)境，適用于PECVD 、Dry Etch 、 LPCVD 等會產(chǎn)生Powder 的制程設備
在現(xiàn)場處理Pipe or Scrubber Inlet 阻塞的問題方向，Hot N2 是最經(jīng)濟且效果最佳的解決方式