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特點

．可高度凈化有毒氣體及維修簡便。

．內置之高效能化學吸附材，可凈化廠區(qū)內制程所產生的有毒氣體。

．正常運行時間可達到99.95％（MTBF>20000hr,MTTR<2.5hr)

優(yōu)點

．室溫下即可操作，不需額外升溫

．維修簡便，不需停機即可進行更換耗材動作

．使用觸控屏幕，操控簡易

．副產物為無毒性固態(tài)鹽類，可直接排放

硬件需求

．Gas Inlet:DN40 KF flange

．Gas Outlet:DN40 KF flange

．Main Power:208V/60Hz 3￡r15amps

．N2:Swagelok 1/4" 85-115psi

．CDA:N/A

．Cabinet Exhaust:預留100mm X 70mm的長度給bellows tubing；

  使用butterfly throttle valve以便對應客戶端所提議的氣體流量；

 20 X cabinet volume per hour

特殊設計

．PLC整合氣體偵測器，擴充能力強大

．PLC與觸控面板介面設計，故障率低且維修容易

．基于安全考量，內含Bypass管路以符合工安需求

．可處理不同流量的多樣氣體

．基于安全考量，內含Bypass管路以符合工安需求

．可處理不同流量的多樣氣體